光譜類

原理： ICP-MS所用電離源是感應耦合等離子體(ICP)，它與原子發射光譜儀所用的ICP是一樣的，其主體是一個由三層石英套管組成的炬管，炬管上端繞有負載線圈，三層管從里到外分別通載氣，輔助氣和冷卻氣，負載線圈由高頻電源耦合供電，產生垂直于線圈平面的磁場。如果通過高頻裝置使氬氣電離，則氬離子和電子在電磁場作用下又會與其它氬原子碰撞產生更多的離子和電子，形成渦流。強大的電流產生高溫，瞬間使氬氣形成溫度可達10000k的等離子焰炬。樣品由載氣帶入等離子體焰炬會發生蒸發、分解、激發和電離，輔助氣用來維持等離子體，需要量大約為1 L/min。

ICP-MS關機注意事項

1、實驗結束后，用2%硝酸和去離子水分別沖洗進樣系統5-10分鐘；

2、沖洗干凈后，將進樣蠕動泵管從去離子水中取出，排空進樣系統中的去離子水；

3、關閉等離子體，松開蠕動泵泵夾，取下泵管；

4、等離子體熄滅后，需要一段時間冷卻（2min左右）至儀器回到待機狀態，再依次關閉冷卻循環水機和氬氣閥門；

5、拉下儀器左側的主電源開關至OFF位置，等待一段時間后儀器會自動卸真空，關閉排風。